X熒光光譜儀是作為多樣化樣品檢測的重要工具，其檢測范圍廣泛，但是如果需要對檢測質(zhì)量有更高的需求，需要對樣品質(zhì)量做一個深層次的處理。

       雖說X熒光光譜儀作為一種無損檢測儀器，樣品都不需要做特殊的前處理就可以測量，可方便得出測量結(jié)果，但是，測試樣品的形態(tài)、樣品大小是否符合要求，樣品表面是否氧化，是否均質(zhì)材料，以及是否有干擾元素都會影響測量結(jié)果的準確度。

       樣品的形態(tài)

       固體樣品，例如PE、PVC塑膠、鋼鐵、銅合金和鋁合金等，可以將其測試表面磨光滑。使用前，不要用手摸拋光的平面，以免表面沾了油污，影響測量精度。如果沾了油污，就要用干凈的絨布擦拭干凈。對于粉末樣品。包括礦粉、粉塵、爐灰、水泥和石灰等。可以直接把粉末樣品放在樣品杯中。大約7 g的樣品就夠了。蓋住樣品杯底約10 mm厚。便可以進行測量。還可以采用壓片法，可以得到較準確的結(jié)果。對于液體樣品，一般將液體樣品倒入特定的樣品杯中，用特殊的密封材料密封好，然后將樣品杯放入測試室中測量。

X熒光光譜儀檢測樣品的制樣

       樣品的大小

       按X熒光光譜儀的光斑大小來區(qū)分，光斑能夠完全照在樣品上且樣品厚度能夠達到要求。就可以直接放到測試室測量。光斑不能夠完全照在樣品上。即樣品比光斑小（例如顆粒狀的零件）。則需要放在一個樣品杯里。達到一定的量，再將其壓緊，不留空隙，然后進行分析。薄的樣品（X射線能夠穿透的樣品），同樣地，類似小樣品應(yīng)該堆在一起以便能夠達到最小樣的品厚度限值。從而進行有效的分析。通常所有的樣品必須完全在光譜的測量范圍內(nèi)。對于高分子樣品和一些輕金屬，例如鋁、鎂、鈦等厚度至少為5mm，對于液體樣品，至少要15 mm厚。對于其它的合金樣品，至少要1mm厚。

       非均質(zhì)樣品

       非均質(zhì)樣品常常表現(xiàn)為，表面有油污，或重金屬污染，表面有涂附層或電鍍層，表面是油污，或重金屬污染，則應(yīng)將這些油污或重金屬除掉后再進行測量。金屬表面有電鍍層的，要測試內(nèi)部金屬的有害元素指標，應(yīng)該盡可能地將表面的鍍層刮去后再測試。例如：需要測量鍍層中元素的含量，由于鍍層很薄，X射線能夠穿透的樣品，它的元素的熒光強度跟樣品的厚度有函數(shù)關(guān)系，所以單從理論上講，是可以進行鍍層中元素含量分析的。但是基體元素的強度會有很強的干擾，所以不能簡單地說是否可以進行鍍層中元素含量的分析，這要看能否進行薄層校正和對基體干擾的扣除，還要看所分析樣品的鍍層元素的復(fù)雜情況和基板的元素含量變化情況。